温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于ARC源的靶，具有由要蒸发的材料构成的第一本体（3），该第一本体（3）基本上在平面中具有被设置用于蒸发的表面，其中平面中的该表面包围中心区域，其特征是，在中心区域中设置与第一本体（3）设计为电绝缘的、优选被构造为片状的第二...该专利属于欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于ARC源的靶，具有由要蒸发的材料构成的第一本体（3），该第一本体（3）基本上在平面中具有被设置用于蒸发的表面，其中平面中的该表面包围中心区域，其特征是，在中心区域中设置与第一本体（3）设计为电绝缘的、优选被构造为片状的第二...