下载涂层设备清洁方法的技术资料

文档序号:8049007

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本发明涉及一种涂层设备的副面的清洁方法。在涂层之前在副面涂敷一个抗粘附层(10)。涂层材料在抗粘附层沉积之后,借助干冰喷射法和/或二氧化碳一干冰喷射清洁方法处理副面。...
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