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本发明提出一种CVD设备，包括：腔体，腔体形成腔室；设置在腔室顶部的电极板；呈水平放置的多个传动轮，传动轮设置在腔室之内；载板，载板放置在多个传动轮之上；第一升降机构，分别位于电极板的两端，用于支撑电极板，并控制电极板垂直移动；和控制器，与...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。