下载一种以MgO为缓冲层的钛酸锶钡薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:8018694

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本发明属于电子材料领域,尤其涉及一种钛酸锶钡薄膜的制备方法。本发明提供一种钛酸锶钡薄膜的制备方法,包括如下步骤:a、配制MgO前驱体溶液;b、配制BaxSr1-xTiO3前驱体溶液,x=0.4~0.9;c、将基片清洗干净后烘干;d、在步骤c...
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