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将用于制备传感器芯片的晶圆切割成晶粒的方法技术
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文档序号:7936007
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本发明提供一种将用于制备传感器芯片的晶圆切割成晶粒的方法,属于半导体芯片封装技术领域。该方法包括步骤:(1)提供后道工序结束后、封装准备前的晶圆;(2)在所述晶圆正面贴保护膜;(3)研磨所述晶圆背面实现减薄;(4)所述晶圆背面贴划片膜;(5...
该专利属于无锡华润安盛科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润安盛科技有限公司授权不得商用。
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