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一种离子注入设备的监测方法，在离子注入工艺中，通过对产品晶圆上的管芯内焊盘区域进行热波数据测量，并将热波数据送入SPC设备进行处理，由于是对产品晶圆而不是对裸晶圆进行检测，所以本发明能够及时并且准确地监测离子注入设备的状态，进而能根据需要对...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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