下载单边存取装置及其制造方法的技术资料

文档序号:7899348

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本发明公开了一种单边存取装置,包含:包含有一源极区域以及一漏极区域的主动鳍式结构;介于源极区域以及漏极区域之间的绝缘层;设置在主动鳍式结构一侧的沟渠绝缘结构;设置在主动鳍式结构相对于沟渠绝缘结构另一侧的单边侧壁栅电极,使主动鳍式结构夹置在沟...
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