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单边存取装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7899348
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本发明公开了一种单边存取装置,包含:包含有一源极区域以及一漏极区域的主动鳍式结构;介于源极区域以及漏极区域之间的绝缘层;设置在主动鳍式结构一侧的沟渠绝缘结构;设置在主动鳍式结构相对于沟渠绝缘结构另一侧的单边侧壁栅电极,使主动鳍式结构夹置在沟...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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