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本发明提出一种托盘，包括：托盘本体；多个安装槽，所述多个安装槽沿所述托盘本体的周向设置；多个小托盘，每个所述小托盘对应地设置在一个安装槽中，其中，所述托盘本体由绝缘材料构成，所述多个小托盘由导热且导电的材料构成。本发明还提出一种具有上述托盘...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。