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一种距离监控装置，适用于化学机械研磨机，化学机械研磨机的研磨头包括框架及薄膜，薄膜装设于框架上，且薄膜与框架于研磨头中形成多个气囊。距离监控装置包括多个距离检测器，分别设置于气囊所对应的框架上，将各个距离检测器位于框架上的位置设为基准点，各...
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