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本实用新型公开了一种适用于半导体材料制备中清除有毒的砷、磷粉末的粉尘清除器，包括粉尘导管、法兰盘、孔板、过滤室、袋状过滤膜、出口导管和离心式抽风机。含有粉尘的气体在离心式抽风机的作用下，通过粉尘导管和孔板进入袋状过滤膜的袋口，再从过滤膜穿过...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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