粉尘清除器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于半导体材料制备中清除有毒的砷、磷粉末的粉尘清除器，包括粉尘导管、法兰盘、孔板、过滤室、袋状过滤膜、出口导管和离心式抽风机。含有粉尘的气体在离心式抽风机的作用下，通过粉尘导管和孔板进入袋状过滤膜的袋口，再从过滤膜穿过，从而使粉尘吸着在过滤膜上。它能有效地清除半导体单晶炉中的砷、磷粉末，且过滤膜便于更换。（*该技术在2006年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种粉尘清除器，包含有粉尘导管、过滤膜、过滤室、出口导管、和离心式抽风机，其特征在于，它还包含有法兰盘和孔板，而且过滤膜是袋状的过滤膜；过滤室的出口通过出口导管与离心式抽风机相连，过滤室的入口通过法兰盘与粉尘导管相接，孔板压嵌于法兰盘和过滤室入口边缘之间，所述袋状过滤膜置于过滤室中，袋口张开压嵌于孔板边缘和过滤室入口边缘之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闻瑞梅，邓礼生，刘任重，梁骏吾，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]