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处理电子元件的方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:786462
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一种处理电子元件(11)的方法,其中电子元件(11)暴露在加热溶剂(15)中,并且随后暴露在臭氧化处理流体中。可选的,通过将电子元件(11)暴露在加热溶剂的经过层中,使电子元件(11)暴露在加热的溶剂(15)中。还提供了一种处理电子元件(1...
该专利属于马特森技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过马特森技术公司授权不得商用。
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