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一种硅片激光割圆的自动化控制装置制造方法及图纸
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下载一种硅片激光割圆的自动化控制装置的技术资料
文档序号:7864216
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本实用新型属于电气控制技术领域,涉及的一种硅片激光割圆的自动化控制装置包括继电器KA和吸气电磁阀(10);继电器KA与吸气按钮(6)串联;继电器KA的常开触点串接在控制板卡(9)与激光驱动装置(11)之间、控制板卡(9)与吹氮气装置(12)...
该专利属于洛阳鸿泰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳鸿泰半导体有限公司授权不得商用。
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