下载大气式等离子体清洁设备的技术资料

文档序号:785683

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本发明公开了一种大气式等离子体清洁设备,其中包括:一等离子体产生模块,其于预定的参数设定下产生等离子体区域,其中该参数包括:环境压力为常压;一气体供应模块,其连通于该等离子体产生模块,以提供气体给该等离子体产生模块使用;一输送模块,其设置于...
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