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本发明公开了一种金属-氧化硅-金属电容器的制作方法，其中，包括以下步骤：提供一衬底；在衬底上沉积一层第一低介电常数介质层，包括金属-氧化物-金属制作区域和非金属-氧化物-金属制作区域；采用沉积和含氧气体处理循环方式，在第一低介电常数介质层上...
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