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阻变存储器及其制造方法技术
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文档序号:7845910
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本发明实施例公开了一种阻变存储器及其制造方法,所述存储器包括:选通晶体管;下电极,所述下电极同选通晶体管电连接;下电极之上凸起的纳米电极;下电极和纳米电极之上的存储介质层;存储介质层之上的上电极。通过凸起的纳米电极增强存储介质层内纳米电极附...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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