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本发明涉及一种低损耗铌酸锂条型波导和分支结构的制备方法，采用多能量中/重离子注入，注入离子的能量范围是2MeV~6MeV，注入后采用温度由低到高阶梯式退火处理，温度范围200℃~500℃,逐渐增加退火温度，每次增加温度的间隔至少15℃，每一...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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