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本发明涉及一种以高处理量检测一物体(8)(例如标线板或光掩模)的检测系统(10)及方法，该系统与方法可形成并感应穿透和/或反射短周期光束(short?duration?beams)(15、17)。根据本发明一具体实施例可同时形成及感应该穿透...该专利属于应用材料公司;应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司;应用材料以色列公司授权不得商用。
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本发明涉及一种以高处理量检测一物体(8)(例如标线板或光掩模)的检测系统(10)及方法，该系统与方法可形成并感应穿透和/或反射短周期光束(short?duration?beams)(15、17)。根据本发明一具体实施例可同时形成及感应该穿透...