形成穿透和/或反射图像的高处理量检测系统及其方法技术方案

本发明专利技术涉及一种以高处理量检测一物体(8)(例如标线板或光掩模)的检测系统(10)及方法，该系统与方法可形成并感应穿透和/或反射短周期光束(short?duration?beams)(15、17)。根据本发明专利技术一具体实施例可同时形成及感应该穿透与反射短周期光束，从而同时提供一反射图像与一穿透图像。该反射与穿透短周期发光光束是操作于频域(frequency?domain)，或个别极化以使其导引至适当区域感应器(32、34)。根据本发明专利技术另一态样，本系统可改变一短周期发光光束的操作，以选择性地导引该短周期光束至个别区域感应器，从而增加该检测系统(10)的处理量。该系统(10)及方法可简易比较一区域(AR?9)的穿透及反射图像，并因此消除在该图像间执行登记(registration)的需求。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术大体涉及ー种使用短周期反射及穿透发光光束(例如但不限于发光光束)的用于高处理量检测一物体的系统及方法。
技术介绍
检测一物品以决定此物品状态的系统与方法，例如屏蔽(亦称为标线板或光掩摸)，此项技术中已为业界所熟知。光学检测系统与方法，通常包含导引ー发光光束至ー检 测物体，并检测由系统反射的发光，或穿透物体的发光。晶体管的大小持续缩小，且需以较高分辨率检测屏蔽(亦称为标线板)。除需较高分辨率外，需以一可节省时间的方式执行光学检测。因此需提供ー种具有高处理量与高分辨率的系统检测与方法。
技术实现思路
本专利技术提供ー种光学地检测一物体以指示物体的状态的方法，该方法至少包含下列步骤传送发光光束；更改所述发光光束并从该物体的一区域的一表面反射所更改的发光光束，从而当所述发光光束的极性未改变时所反射的光束到达第一区域感应器，当可变半波长延迟器引入半波长的ー相位偏移改变所述发光光束的极性时所反射的光束到达第ニ区域感应器；由所述第一区域感应器来感应到达所述第一区域感应器的所反射光束，并响应形成第一输出信号；由所述第二区域感应器感应到达所述第二区域感应器的所反射光束，并响应形成第二输出信号；重复更改、反射与感应的循环，直到该物体的ー预先定义部分被完全照射为止；其中在每个循环期间，所述第一和第二输出信号的其中之一将被处理；及处理该第一和第二输出信号，以提供该物体的预先定义部分的状态的一指示。本专利技术提供ー种光学地检测一物体以指示该物体的状态的方法，该方法至少包含下列步骤传送发光光束；更改所述发光光束并使所改变的发光光束穿透该物体的一区域的一表面，从而当所述发光光束的极性未改变时所穿透的光束到达第一区域感应器，当可变半波长延迟器引入半波长的ー相位偏移改变所述发光光束的极性时所穿透的光束到达第二区域感应器；通过该第一区域感应器感应到达所述第一区域感应器的所穿透光束，并响应形成第一输出信号；通过该第二区域感应器感应到达所述第二区域感应器的所穿透光束，并响应形成第二输出信号；重复更改、穿透与感应的循环，直到该物体的ー预先定义部分被完全照射为止，其中在每个循环期间，所述第一和第二输出信号的其中之一将被处理；及处理该第一和第二输出信号，以提供该物体的预先定义部分的状态的一指示。本专利技术提供一种高处理量检测系统，该系统包含一照明系统，所述照明系统用以传送发光光束；以及ー控制器，所述控制器用于更改所述发光光束并使所述照明系统能由物体的一区域的一表面反射所更改的发光光束，从而当所述发光光束的极性未改变时所反射的光束到达第一区域感应器，当可变半波长延迟器引入半波长的ー相位偏移改变所述发光光束的极性时所反射的光束到达第二区域感应器，所述第一区域感应器用于感应到达所述第一区域感应器的所反射光束并响应形成第一输出信号，以及所述第二区域感应器用于感应到达所述第二区域感应器的所反射光束，并响应形成第二输出信号，其中该控制器更适于(i)控制更改、反射与感应的循环的重复，直到照射该物体的ー预先定义部分；(ii)在每个循环期间，使第一和第二输出信号的其中之一被处理；及(iii)处理所述第一和第ニ输出信号，以提供该物体的预先定义部分的状态的一指示。本专利技术提供一种高处理量检测系统，该系统至少包含 一照明系统，所述照明系统用以传送发光光束；以及ー控制器，所述控制器用于更改所述发光光束并使所述照明系统能传输所更改的发光光束穿透一物体的一区域的一表面，从而当所述发光光束的极性未改变时所穿透的光束到达第一区域感应器，当可变半波长延迟器引入半波长的ー相位偏移改变所述发光光束的极性时所穿透的光束到达第二区域感应器，所述第一区域感应器用于感应到达所述第一区域感应器的所穿透光束，并响应产生第一输出信号，以及所述第二区域感应器用于感应到达所述第二区域感应器的所穿透光束，并响应形成第二输出信号，其中该控制器更适于(i)控制更改、穿透与感应的循环的重复，直到该物体的ー预先定义部分被完全照射为止；(ii)在每ー循环期间，使所述第一和第二输出信号的其中之一被处理；及(iii)处理所述第一和第二输出信号，以提供该物体的预先定义部分的状态的一指示。本专利技术提供ー种光学地检测一物体以指示所述物体状态的方法，所述方法至少包含下列步骤(a)由所述物体的一区域的一表面反射一第一发光光束，以形成一短周期反射光束，并同时使一第二发光光束穿透所述物体包含所述第一表面与一第二表面的区域，以提供一短周期穿透光束；(b)感应所述短周期反射光束与所述短周期穿透光束，并响应形成多个可反应所述物体的所述区域的一状态的输出信号；周期性地重复所述步骤(a)与(b)，直到所述物体的ー预先定义部分被完全照射为止；及处理所述输出信号，以提供所述物体的预先定义部分的状态的一指示。本专利技术还提供一种高处理量检测系统，所述系统包含一照明系统，用以由所述物体的一区域的一表面反射一第一发光光束，以形成一短周期反射光束，并同时使一第二发光光束穿透所述物体包含所述第一表面与一第二表面的所述区域，以提供一短周期穿透光束；至少ー感应器，用以感应所述短周期反射光束与所述短周期穿透光束，并响应形成多个可反应所述物体的所述区域的一状态的输出信号；ー控制器，用以周期性地重复所述反射与所述感应步骤，直到照射所述物体的ー预先定义部分，并用以处理所述输出信号，以提供所述物体的预先定义部分的状态的一指示。附图说明由下列叙述，将了解本专利技术的特征与优点。本专利技术在此处仅通过范例描述，并參照附属图标，其中图Ia-Ic为概要图标，所示为根据本专利技术构造的光学检测系统；图2a_2c所示为根据本专利技术一具体实施例，一区域的穿透与反射图像；图3所示为根据本专利技术一具体实施例的扫描方式；图4-5为根据本专利技术其它具体实施例的光学检测系统概要图标；及图6所示为根据本专利技术具体实施例，检测一物体方法的流程图。具体实施例方式如上所述，本专利技术的方法与设备是特别适用于光学地检测光掩模，以检测光掩模反射和/或穿透区域的缺陷。应注意的是有些光掩模只具有透光与不透光区域，而其它光掩模可能包含反射和/或穿透程度，介于完全反射/穿透与零反射/穿透间的区域。例如，半色调区域仅允许约％的光线通过。然而为了简化说明，是只假设光掩模具有透光与不透光区域。电磁福射光束的特征为电磁福射光束的极化(polarization)。线性极化光波的电场仅位于单一平面。圆形极化光波的电场位于两垂直平面，且相位偏移光波四分之一波长(或四分之一波长的偶数倍)。极化光束分光镜将电场位于两垂直平面的一光波，划分为两垂直极化光波。相位延迟为使两垂直线性极化的一光学路径长度，与另ー者相异。四分之 一波长延迟器将线性极化光波，转换为圆形极化光波，且反之亦然。可变延迟器可改变其延迟，且因此可改变在两垂直平面电场间的相对相位偏移，从而引入一相位偏移。可变波长延迟器可改变零与部分波长间的延迟。可变波长延迟器的特征为可变波长延迟器引入的最大相位偏移量。例如，半波长可变延迟器可在零与半波长间改变其延迟。相位延迟器，例如但不限于四分之一波长延迟器，以及极化光束分光镜，为此领域所熟知。图I所不为根据本专利技术一具体实施例的光学检测系统10。系统10包含一发光光源。较佳地发光的波长约为193纳米。进ー步注意发光光源位于检测物体所在平面的下方，但并非必需如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2002.08.08 US 10/215,9721.ー种光学地检测一物体以指示所述物体状态的方法，所述方法至少包含下列步骤 (a)由所述物体的一区域的一表面反射一第一发光光束，以形成一短周期反射光束，并同时使ー第二发光光束穿透所述物体包含所述第一表面与一第二表面的区域，以提供一短周期芽透光束； (b)感应所述短周期反射光束与所述短周期穿透光束，并响应形成多个可反应所述物体的所述区域的一状态的输出信号； 周期性地重复所述步骤(a)与(b)，直到所述物体的ー预先定义部分被完全照射为止；及 处理所述输出信号，以提供所述物体的预先定义部分的状态的一指示。2.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的物体在周期性地重复所述步骤(a)与(b)时是沿ー扫描轴移动； 其中姆一区域的姆ー表面具有一形状，其具有一扫描轴投影与ー截面扫描轴投影；及 其中所述扫描轴投影与所述截面扫描轴投影实质上相等。3.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的物体在周期性地重复所述步骤(a)与(b)时是沿ー扫描轴移动； 其中姆一区域的姆ー表面具有一形状，其具有一扫描轴投影与ー截面扫描轴投影；及 其中所述扫描轴投影不长于所述截面扫描轴投影。4.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的短周期穿透光束与所述短周期反射光束，是由至少一区域类型感应器所感应。5.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的第一发光光束与所述第二发光光束由一单ー发光光源形成。6.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的短周期反射光束与所述短周期穿透光束具有不同极性。7.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的短周期穿透光束是由位于所述物体一侧的ー感应器所感应，且所述短周期反射光束是由位于所述物体另ー侧的一感应器所感应。8.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的第一与第二光束具有不同的波长。9.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述的反射与穿透光束为超...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊曼纽尔·埃尔亚萨夫，哈尔姆·费尔德曼，斯尔曼·亚洛夫，埃尔坦·拉哈特，
申请(专利权)人：应用材料公司，应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：