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本发明公开了一种用电流差值来检测互连线全开路缺陷的方法。包括以下步骤：首先针对疑似存在开路缺陷的金属线，生成两个特意形式的测试图样；顺序地加载两个测试图样，ATE设备在第二个测试图样加载之后的两个规定的时间进行电流测量；若两次测量的电流差值...
该专利属于集美大学所有，仅供学习研究参考，未经过集美大学授权不得商用。

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