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本发明公开一种用以在磁性存储基板中形成磁性图案的设备。腔室包含：界定内部空间的腔室壁；在所述腔室的所述内部空间中的基板支座；在所述腔室的面对所述基板支座的壁区域中设置的气体散布器；用以将提供至所述腔室的工艺气体的一部分离子化的小型能量源；及...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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