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公开了用于检测在电容耦合RF驱动的等离子体处理腔室内的等离子体约束状态的变化的方法和系统。在一个或多个实施方案中，等离子体无约束检测方法采用了模拟电路或数字电路，模拟电路或数字电路能够主动轮询具有静电卡盘（ESC）形式的功率馈送电极处的RF...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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