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根据实施方式，半导体元件具备：半绝缘性基板，在表面选择性地设有第1第一导电型层；第1半导体层，设置在上述半绝缘性基板以及上述第1第一导电型层之上，包含无掺杂AlXGa1-XN(0≤X＜1)；以及第2半导体层，设置在上述第1半导体层上，包含无...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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