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光栅刻线缺陷检验装置，涉及一种光栅刻线缺陷检验装置，解决现有光栅尺制造过程中主尺存在污点和前后相位不一致等情况，靠人工无法完成光栅尺检验的问题，本发明的第一移位驱动装置驱动信号探测头沿检测方向运动，信号探测头检测到光源发出的，并被待测光栅和...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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