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本发明公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发明给出了多个具体实...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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