用于沟道填充的新型沟道隔离槽制造技术

技术编号：7660599 阅读：238 留言：0更新日期：2012-08-09 04:26

本发明专利技术公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明专利技术提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发明专利技术给出了多个具体实施例。本发明专利技术通过直接改变沟道隔离槽的拐角形状，进而避免矩形槽拐角处出现小部分未填充的现象，以保证沟槽拐角处可以完全填充。虽然由于刻蚀离子会从底面弹回，造成对侧壁的二次刻蚀，但是由于矩形沟道拐角处为圆弧等形状，内壁面与外壁面之间距离小于或等于2μm与矩形槽之间距离相等，足以确保填充无缝隙。