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一种表面等离子波信号放大器及其制作方法技术
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文档序号:7638410
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本发明公开了一种SP波信号放大器,包括基底、金属层和沉积介质层;金属层位于基底和沉积介质层之间,其顶面与沉积介质层的底面连接,底面与基底的顶面连接;金属层的顶面开有贯通两侧的波导;波导的侧壁上开有增益槽,增益槽的宽度为1~1.5μm,增益槽...
该专利属于燕山大学所有,仅供学习研究参考,未经过燕山大学授权不得商用。
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