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一种低应力中子转换薄膜元件及其制备方法技术
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文档序号:7633000
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本发明属于精密光学元件制作技术领域,公开了一种低应力中子转换薄膜元件及其制备方法。该元件包括基底(1)和碳化硼/铬周期多层膜(2),铬薄膜层(3)和碳化硼薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上,铬薄膜层(3)和碳化硼薄膜层(4)的数目相同。...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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