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一种固态前体输送组件(200)，所述固态前体输送组件通常包括：容器(202)，该容器具有上部和下部；和被限定在所述容器内的室，所述室包括入口室(238)、出口室(244)以及第一和第二前体室(240，242)。第一和第二前体室构造成用来将前...
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