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本发明属于MEMS领域，涉及一种模拟蚊子嘴制作的用来进行无痛进样的微针阵列。其特征是：采用两步和双向深反应离子刻蚀(Deep?reactive?ion?etching，DRIE)工艺确保微针孔的完全刻穿和其侧壁的光滑性；采用各向异性湿法腐蚀...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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