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本发明公开了一种处理多晶硅生产废气的方法,所述多晶硅生产废气含有氯硅烷、氢气和氮气,该方法包括以下步骤:(1)对所述多晶硅生产废气进行增压和预冷凝;(2)将步骤(1)中预冷凝后的所述多晶硅生产废气与吸附剂接触,所述接触的条件使得所述吸附剂对...该专利属于洛阳晶辉新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳晶辉新能源科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种处理多晶硅生产废气的方法,所述多晶硅生产废气含有氯硅烷、氢气和氮气,该方法包括以下步骤:(1)对所述多晶硅生产废气进行增压和预冷凝;(2)将步骤(1)中预冷凝后的所述多晶硅生产废气与吸附剂接触,所述接触的条件使得所述吸附剂对...