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复合坩埚及其制造方法技术
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文档序号:7558266
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本发明提供一种坩埚及其制造方法,该坩埚可适用于耐热强度高且长时间的提拉,以更低的成本制造。本发明的复合坩埚,包括具有侧壁部及底部的氧化硅玻璃坩埚主体和设置于上述氧化硅玻璃坩埚主体上端部的外表面侧的加固层,上述加固层由以氧化铝和氧化硅为主要成...
该专利属于日本超精石英株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本超精石英株式会社授权不得商用。
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