日本超精石英株式会社专利技术

日本超精石英株式会社共有66项专利

  • 在氧化硅玻璃坩埚的制造工程中,提供可防止内表面特性的降低的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,以及氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,具备限定氧化硅玻璃坩埚的外形的模具,具有多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元,上述多个...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法,该石英玻璃坩埚用于硅单晶的提拉中,内面层的均质性优异,且内面层的气泡含有率较低。在硅单晶的提拉中所使用的石英玻璃坩埚的制造方法中,当由合成石英粉形成内面层30时,由具有比形成该内面层30的内侧部分...
  • 本发明提供一种能够抑制填充在坩埚内部的硅熔液的熔液面振动,并且,寿命长的单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚及其制造方法。本发明的单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚,其具有周壁部、弯曲部及底部,其中,在周壁部内面的特定区域上设置有多个微小凹部。
  • 在用于提拉硅晶体的二氧化硅玻璃坩埚中,在所述坩埚的完整圆周上在同一高度位置处所测量的气泡含量和壁厚度中每一者的圆周最大容差不大于6%。
  • 本发明提供一种氧化硅造粒粉的制造方法和氧化硅玻璃坩埚的制造方法,其利用废玻璃来制造具有透明层的氧化硅玻璃坩埚,以及适合于该制造的氧化硅粉。根据本发明,提供一种氧化硅造粒粉的制造方法,其包括下述工序:将在氧化硅玻璃坩埚的制造工序中产生的废...
  • 本发明提供一种在单晶硅提拉中的高温下抑制发生沉入现象的氧化硅玻璃坩埚及其制造方法。氧化硅玻璃坩埚(10)具有:设置在坩埚外表面侧的含有多个气泡的不透明氧化硅玻璃层(11),以及设置在坩埚内表面侧的透明氧化硅玻璃层(12),其中,不透明氧...
  • 本发明提供一种控制氧化硅玻璃坩埚制造时的熔化状态,来防止单晶硅制造时坩埚内表面发生褐色环,并能够抑制熔液面振动的氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚制造方法,向坩埚形成用的模具内供给原料氧化硅粉末形成氧化硅粉层,再利用电弧放...
  • 制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚。一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,在旋转的模具(10)内,通过多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11),制造氧化硅玻璃坩埚,该制造方法包括:预...
  • 本发明提供一种坩埚及其制造方法,该坩埚可适用于耐热强度高且长时间的提拉,以更低的成本制造。本发明的复合坩埚,包括具有侧壁部及底部的氧化硅玻璃坩埚主体和设置于上述氧化硅玻璃坩埚主体上端部的外表面侧的加固层,上述加固层由以氧化铝和氧化硅为主...
  • 一种在制造工序中可以防止拿错坩埚的氧化硅玻璃坩埚的制造方法,其包括:在可制定氧化硅玻璃坩埚外形的模具的内表面堆积氧化硅粉末而形成氧化硅粉层的氧化硅粉层形成工序;在模具内通过电弧加热来熔化氧化硅粉层并形成氧化硅玻璃层,由此形成氧化硅玻璃坩...
  • 在制造氧化硅玻璃坩埚时能够准确测量制造中的温度。本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚制造装置,该装置通过向坩埚形成用模具内供给氧化硅粉末来形成氧化硅粉层,通过电弧放电加热熔化该氧化硅粉层来制造氧化硅玻璃坩埚,该装置具备:供给氧化硅粉末来形成氧化...
  • 制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚。一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,在旋转的模具(10)内,通过多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11),制造氧化硅玻璃坩埚,该制造方法包括:对...
  • 提供一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,该方法通过控制制造氧化硅玻璃坩埚时的熔化状态,防止单晶硅制造时坩埚内表面发生褐色环,并抑制熔液面振动。本发明的氧化硅玻璃坩埚制造方法,是将原料氧化硅粉末成形于坩埚成形用模具内,用电弧放电加热熔化该氧化硅...
  • 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,包括如下工序:向旋转的模具内供应氧化硅原料粉来形成坩埚形成形体;边旋转坩埚形成形体,边由内至外地减压并电弧加热,形成有底圆筒形的氧化硅玻璃坩埚,该坩埚包括透明层和含气泡层;对该坩埚的内面侧进行熔化...
  • 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法包含:向模具(10)内供给氧化硅粉末来形成氧化硅粉层(11)的氧化硅粉末供给工序;用多根碳电极(13)进行电弧放电来熔化氧化硅粉层(11)的电弧熔化工序;将各碳电极前端与供给到模具(10)内的氧化硅...
  • 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚制造装置,该氧化硅玻璃坩埚制造装置具有既可移动且能调整电弧放电产生的加热温度的电极,又能缩小间隔壁的通孔与插入该通孔的电极间之间隙的结构。在旋转模具10上方设置板状的间隔壁15,用于加热熔化的电极13插入在贯...
  • 本发明提供一种利用废玻璃制造具有透明层的氧化硅玻璃坩埚的方法。根据本发明,一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法,用于制造单晶或多晶硅锭,所述坩埚具备玻璃化工序,其中,对具有坩埚形状的氧化硅粉末烧结体,从坩埚内面侧对所述氧化硅粉末烧结体进行电弧熔...
  • 本发明提供一种用于提拉单晶硅的氧化硅玻璃坩埚,其中,所述坩埚的壁,从坩埚的内侧到外侧具备:由天然氧化硅玻璃或合成氧化硅玻璃组成的未掺杂矿化元素的内面层,以及分散有含矿化元素的岛状区域的矿化元素偏在氧化硅玻璃层,所述岛状区域的玻璃和其周边...
  • 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚,即使长时间进行高温加热,也较少发生变形。根据本发明,提供一种氧化硅玻璃坩埚,其包括大致圆筒形的直筒部、底部以及平滑地连接上述直筒部和上述底部的角部,其中,上述氧化硅玻璃坩埚的壁从内侧起依次具有透明层及含气泡...
  • 本发明提供一种能够抑制杂质混入硅熔液,可以抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲和沉入的氧化硅玻璃坩埚。根据本发明,提供一种用于提拉单晶硅的氧化硅玻璃坩埚,其中,从上述坩埚壁的外表面朝向内表面的厚度为2mm的区域的氧化硅玻璃,其在拉曼光谱中492cm...