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制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚。一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，在旋转的模具(10)内，通过多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11)，制造氧化硅玻璃坩埚，该制造方法包括：对上述...
该专利属于日本超精石英株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本超精石英株式会社授权不得商用。

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