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本发明公开了一种偏移量的生成方法和装置。该方法包括：根据第一实际位置和第一标准位置，生成顶点偏移量，第一实际位置为第一特征点的实际位置，第一标准位置为第一特征点的标准位置；根据第一实际位置、第二实际位置、第一标准位置和第二标准位置，生成整体...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。