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本发明公开了一种新型MEMS仿生声矢量传感器结构，属于声学领域。该结构的左侧振动膜片1和右侧振动膜片2上均有可动梳齿6，并与连在锚点区域9的固定梳齿7形成梳齿对。梳齿对结构弥补了以往结构由于存在加强肋无法进行电容检测的缺陷，从而可通过检测电...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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