一种新型MEMS仿生声矢量传感器及其加工方法技术

技术编号:7460998 阅读:309 留言:0更新日期:2012-06-24 21:07
本发明专利技术公开了一种新型MEMS仿生声矢量传感器结构,属于声学领域。该结构的左侧振动膜片1和右侧振动膜片2上均有可动梳齿6,并与连在锚点区域9的固定梳齿7形成梳齿对。梳齿对结构弥补了以往结构由于存在加强肋无法进行电容检测的缺陷,从而可通过检测电容变化量检测出振动幅度曲线,依次计算出前两阶模态频率时的振幅和阻尼,再通过器件旁边的测试性麦克风测得的声压值,计算出声波的入射角度,实现声源的定位。此外,本发明专利技术还公开了该结构的加工方法,利用SOG工艺在玻璃上刻蚀流体间隙,工艺简单,间隙深度可控,避免了采用ICP工艺深刻蚀时出现footing效应,优化了加工工艺,提高了器件的结构精度和成品率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:苑伟政刘振亚任森邓进军庄成乾
申请(专利权)人:西北工业大学
类型:发明
国别省市:

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