下载制造半导体器件的瓷板的技术资料

文档序号:7396937

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本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体地说是涉及制造半导体器件的瓷板,它包括瓷板本体,在瓷板本体的两侧都用凸起棱、凸起点或放置晶块的凹槽,较佳的技术方案是:在瓷板本体的两侧的凹槽中有槽内凸起棱和槽内凸起点,这样的瓷板在制造半导体器件过程中的...
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