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本发明公开了一种用在真空处理室中的卡盘，包括卡盘主体；冷却部件；以及膨胀隔热组件，设置在冷却部件与卡盘主体之间，膨胀隔热组件、卡盘主体和冷却部件限定出密封空间且冷却部件适于利用密封空间中的导热气体移除卡盘主体中所产生的热量，其中膨胀隔热组件...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。