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相对压力传感器制造技术
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下载相对压力传感器的技术资料
文档序号:7366516
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一种相对压力传感器,包括:压力测量变换器11,该压力测量变换器具有半导体芯片12的测量膜和平台13,其中,在测量膜和平台二者之间形成基准压力腔;支撑主体14,其中平台借助承压粘附体9与该支撑主体相连接,其中基准压力路径延伸穿过两个前述元件进...
该专利属于恩德莱斯和豪瑟尔两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩德莱斯和豪瑟尔两合公司授权不得商用。
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