相对压力传感器制造技术

技术编号:7366516 阅读:183 留言:0更新日期:2012-05-27 02:41
一种相对压力传感器,包括:压力测量变换器11,该压力测量变换器具有半导体芯片12的测量膜和平台13,其中,在测量膜和平台二者之间形成基准压力腔;支撑主体14,其中平台借助承压粘附体9与该支撑主体相连接,其中基准压力路径延伸穿过两个前述元件进入到基准压力腔中;传感器外部主体20,在该传感器外部主体中形成变换器腔21,该变换器腔21具有第一开口和第二开口23,其中通过该第一开口将压力测量变换器11带入到变换器腔中并且借助支撑主体将所述压力测量变换器11保持在该变换器腔21中,其中支撑主体压密地密封第一开口,并且其中测量膜的背离基准压力腔的一侧通过第二开口与介质压力可接触;其中基准压力路径具有充气的密封段,该充气的密封段从基准压力腔延伸至少穿过承压粘附体9,其中密封段借助柔性镀金属塑料箔19气密地密封。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于记录介质压力和大气压力之间的差的相对压力传感器。本专利技术的领域的相对压力传感器包括压力测量变换器,其中该压力测量变换器具有测量膜和平台,其中,在测量膜和平台之间形成基准压力腔,支撑主体,其中平台借助承压粘附体与该支撑主体相连接。其中基准压力路径延伸穿过平台和支撑主体,使得将基准压力引入到基准压力腔中。传感器外部主体,在该传感器外部主体中形成变换器腔,其中传感器腔具有第一开口和第二开口,其中经第一开口将压力测量变换器带入到变换器腔中,并且借助支撑主体将压力测量变换器保持在变换器腔中,其中支撑主体压密地密封第一开口,并且其中测量膜的背离基准压力腔的一侧经第二开口与介质压力可接触。
技术介绍
在本专利技术的领域的相对压力传感器的情况下,出现的问题是,承压粘附体是潮湿敏感的。这导致压力测量变换器中的机械应力,这种机械应力最终引起测量误差。在这点上,德国专利申请102008043175描述了改变承压粘附体的结构的方法,通过这种方法,在该专利技术的压力传感器的情况下,基准压力路径延伸使得承压粘附体通过防潮层免受基准空气。尽管这些方法取得了改进,但是由于这些类型的屏蔽—本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:奥拉夫·克鲁泽马克诺伯特·吉尔
申请(专利权)人:恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
类型:发明
国别省市:

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