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一种用于确定重叠误差的标记，包括子特征(46)，该子特征的最小节距大致等于产品特征的最小节距。对变形和像差的敏感性因此与对产品特征的敏感性相同。然而，当显影标记时，子特征并入并且仅显影较大的特征的轮廓。...
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