下载一种金属-绝缘层-金属型电容的技术资料

文档序号:7336048

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种金属-绝缘层-金属型电容,包括下电极板以及上电极板,所述上电极板与下电极板之间具有绝缘层,所述下电极板与上电极板均为金属,其特征在于,所述绝缘层为二氧化硅,所述二氧化硅采用正硅酸乙酯以及臭氧气体进行热反应形成。本发明的金属-绝...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。