下载建立有源区氮化硅膜应用数据库的工艺方法的技术资料

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本发明一种建立有源区氮化硅膜应用数据库的工艺方法,包括:在每台不同型机台的基底层上生成氮化硅,其中,对基底层上生成的氮化硅进行薄膜的沉积自备,在对已经进行过薄膜自备的氮化硅上进行刻蚀并形成沟槽,并进行曝光,对已所形成的沟槽进行填充物的填充,...
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