下载FINFET及其制造方法的技术资料

文档序号:7323813

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本公开关于一种鳍片场效应晶体管(FinFET)。FinFET的示例性结构包括具有顶面的基板;在基板顶面上并具有锥形顶面的第一绝缘区域和第二绝缘区域;延伸在第一和第二绝缘区域之间的基板顶面上的基板的鳍片,其中鳍片包括凹陷部分,其具有低于第一和...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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