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绝缘栅双极晶体管制造技术
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文档序号:7284538
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本发明公开了一种IGBT(100),其为能降低导通电阻并同时抑制缺陷产生的垂直型IGBT,且包含:碳化硅衬底(1)、漂移层(3)、阱区(4)、n+区(5)、发射极接触电极(92)、栅氧化物膜(91)、栅极(93)以及集电极(96)。所述碳化...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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