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一种制作高选择性半导体薄膜方法技术
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文档序号:7220143
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本发明公开了一种制作高选择性半导体薄膜方法,包括:配制Fe(NO3)3溶液、表面活性剂溶液和吡咯水溶液;在冰水浴中,在剧烈搅拌下,将吡咯水溶液加入到表面活性剂溶液中,再搅拌一定时间形成吡咯与表面活性剂的混合溶液;在避光条件下,边搅拌边将配制...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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