下载快闪存储器及其制作方法的技术资料

文档序号:7211390

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一种快闪存储器,包括:半导体衬底;位于所述半导体衬底上的源线;位于所述源线两侧的字线和字线介质层,所述字线介质层一部分位于字线下方的半导体衬底上,一部分位于字线远离源线一侧的侧壁;位于源线与字线和字线介质层间的隔离介质层;位于字线介质层远离...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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