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半导体装置及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7205768
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公开一种半导体装置及半导体装置的制造方法。根据实施例,设置半导体基板、金属膜、表面改性层和再布线。半导体基板上形成了布线及焊盘电极。金属膜在所述半导体基板上形成。表面改性层在所述金属膜的表层形成,提高与光刻胶图形的贴紧性。再布线隔着所述表面...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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