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本申请描述了一种制造半导体器件的方法。提供具有多个沟槽的基板。该多个沟槽包括具有不同宽度的沟槽。在包括多个沟槽的基板上形成第一层。第一层的形成在叠加在沟槽(例如，宽沟槽)上的区域中在第一层中产生凹陷。在凹陷中形成第二层。第一层被蚀刻，同时第...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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